Institut Für Regelungs- & Steuerungstechnik, Universität Siegen  

Die Miniaturisierung technischer Systeme führt zu erheblichen Vorteilen in Hinblick auf Wirtschaftlichkeit, Ressourcenverbrauch und Funktionsgeschwindigkeit, aber auch zu völlig neuartigen Anwendungen durch die Möglichkeit zur integrierten Realisierung von Systemen bisher nicht gekannter Komplexität.

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